成果名称：热敏薄膜及其制备方法和应用

发 明 人：居勇峰;杨潇;蒋青松;于银山;付成芳

获批时间：2020/12/08

成果类型：发明授权

专 利 号：CN201910217356.3

成果简介

本发明涉及非制冷红外探测技术领域，公开了一种热敏薄膜及其制备方法和应用，该热敏薄膜由ZnOx材料制成，其中x的取值范围是0.7~0.95；厚度为50 nm~300 nm，方阻在25℃时为5 KΩ/□~500 KΩ/□，电阻温度系数为‑1.5%/K~‑3.5%/K。该热敏薄膜具有长期稳定的电性能，电阻与电阻温度系数与氧化钒比拟，该材料的发明为研究非制冷红外器件用热敏材料开辟了一条新的路径。

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